IntelliSuite
IntelliSuite, eines der ersten kommerziellen CAD Tools für MEMS™, stellt
eine Lösung für das Design, die Simulation und die Optimierung von MEMS dar.
IntelliSuite ist mit seinen Simulations-Möglichkeiten und
seiner einfachen Bedienbarkeit unübertroffen. Beim Design Prozess wird nicht
von den Device Geometrien ausgegangen sondern von den Fertigungsdaten.
Diese Methode führt zur Erstellung von sehr genauen Modellen, welche zeigen,
dass die Device Geometrien und deren Verhalten überwiegend von den Prozess
Bedingungen abhängig sind. IntelliSuite optimiert das Design von MEMS vor deren
Fertigung, wodurch die Entwicklungszeit von Prototypen erheblich reduziert und
die Herstellungskosten drastisch reduziert werden. Durch die Bereitstellung von
"Process Templates", Materialdatenbanken, Masken Layout Editoren und Device
Analysen bietet IntelliSuite eine Plattform für das gesamte Design Team, um
leichter herstellbare Devices mit höherer Ausbeute fertigen zu können.
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